Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Серия: Электроника
Автор: М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2007
ISBN: 978-5-94774-336-4, 978-5-94774-337-1
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 400
Описание: Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Цена: 423 руб.
Знаете ли Вы, что ...
Условия труда
Условия труда - совокупность факторов производственной среды и трудового процесса, оказывающих влияние на работоспособность и ...
Профессиональное заболевание
Профессиональное заболевание - хроническое или острое заболевание работника, являющееся результатом воздействия на него ...
Гиппократ
Гиппократ (ок. 460 ок. 377 до н. э.) - древнегреческий врач, реформатор античной медицины, материалист. В трудах Гиппократа, ...
